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無塵室自動化

無塵室自動化

於更加潔淨的環境中,
大幅提昇半導體
技術的精度及其可靠性

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半導體在不到半個世紀的時間裡急速的成長發展,已經成為現代社會不可或缺的產品。半導體產品的生產 技術日新月異,因此更需要求其效能・品質及產能的的提昇。在高度管理下的無塵室內,不僅搬送設備要避免發塵,並且需要在高度自動化的生產過程中擁有絕對的信賴性。村田機械多年來積累的自動化,無人化生產的豐富經驗,從很早就開始提供應用於無塵室的各種搬送系統和保管設備。村田機械無塵室自動化(Clean FA)事業部門於2009年8月與日本神鋼公司合併,成立村田自動化科技股份有限公司,進而在2012年4月,再度與村田機械合併,透過提供高品質的產品及服務,提昇半導體產品的生產效率和可靠性,為社會的發展貢獻一份心力。

半導體製造工廠所使用的無塵室保管系統及OHT(空中單軌無人搬送系統)

半導體製造工廠所使用的無塵室保管系統及OHT (空中單軌無人搬送系統)

MCS(搬送控制、管理系統)

MCS(搬送控制、管理系統)

CDRX (無塵存取光罩器)

CDRX (無塵存取光罩器)

半導體製造工廠所使用的RGV(有軌式無人搬運車)

半導體製造工廠所使用的RGV
(有軌式無人搬運車)

半導體製造工廠所使用的搬送系統
OHT(空中單軌無人搬運車)
OHS(空中無人搬運車)
RGV(有軌式無人搬運車)
AGV(無人搬運車)
無塵室保管系統
 晶舟儲存器
 倍縮光罩儲存器
 晶圓儲存器
 晶舟存取轉換器
MCS(搬送控制、管理系統)
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